2022年8月20-22日,第六届中国(国际)传感器创新创业大赛决赛在河南郑州举行,精仪学院微纳光学测控实验室胡春光教授指导的由王子政、孙新磊、翟聪、刘亦辰和吴岳松等组成的“微纳光学”团队以《面向半导体量测的微探头超精密光谱传感器》作品参赛,一举获得该项赛事的一等奖(创新设计组),是天津大学精仪学院参加该项赛事以来获得的最高奖项。
精仪学院团队本次参赛的作品源自我国半导体制造产业的迫切需求。在微纳光学测控实验室师生的共同努力下,不到一年的时间,实验室就完成了相应的开发工作,并成功进入国内相关领域头部企业进行现场测试,性能完全替代国外最好的同类产品。在此基础上,实验室从测试原理的创新应用角度,将该类设备的应用范围拓展到高深宽比微结构深度、悬空结构内部基底厚度等方面,也成为本次参赛取胜的关键。
中国(国际)传感器创新创业大赛由中国仪器仪表学会主办,本次大赛共收到作品近400项,来自全国高校、科研院所、企业等150多家单位参赛,1000余名高校学生、老师、科研人员和工程技术人员参与大赛。经大赛评委会评审,共评选出90项优秀作品进入决赛。决赛共决出特等奖2项,一等奖10项(实验室参赛作品排名第一)。(来源:天津大学)
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